ASML、imec 签署五年期战略合作协议，聚焦先进工艺研究与可持续发展

3 月 11 日消息，光刻设备巨头 ASML 当地时间今日宣布同比利时 imec 微电子研究中心签署了一项新的 5 年期战略合作协议。这对长期伙伴将在先进工艺和可持续发展领域发挥各自的知识和专长。

在半导体工艺方面，imec 牵头建设的后 2nm 制程前沿节点 SoC 中试线 NanoIC 将导入包括 High NA EUV 光刻机在内的一系列 ASML 设备。双方还将在硅光子学、存储和先进封装领域展开合作。

此外，ASML 将为 imec 探索环境和社会效益的创新想法和活动提供资金支持。

ASML 总裁兼首席执行官 Christophe Fouquet 表示：

这项协议标志着 ASML 和 imec 之间的长期合作迈出了新的一步。它标志着我们共同为半导体行业开发解决方案的雄心壮志，也符合我们投资技术和创新以造福全社会的战略。

imec 总裁兼首席执行官 Luc Van den Hove 表示：

我们很高兴能继续与 ASML 保持长期独特的合作关系，30 多年来，我们为业界提供了最先进的图案化解决方案。

ASML 完整产品组合的加入将使我们中试线的能力进一步增大和成熟，为整个半导体生态系统提供最先进的研发技术，以应对 AI 驱动的技术进步所带来的挑战。

由于 imec 非常重视可持续创新，因此将这一事项明确纳入我们的合作伙伴关系是一个很好的补充。